為了避免代價(jià)高昂的污染和停工，用于晶圓步進(jìn)操作的潤(rùn)滑劑必須具有廣的材料相容性、高腐蝕性化學(xué)物質(zhì)環(huán)境中出色的穩(wěn)定性、低力矩、低蒸汽壓力(10-12托，25?C時(shí))和極低真空揮發(fā)率，以適應(yīng)1-10級(jí)潔凈室環(huán)境要求。

　　在電子和半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，污染可能影響設(shè)備精度、操作再現(xiàn)性和設(shè)備的使用壽命。當(dāng)用于真空泵和潔凈室內(nèi)時(shí)，高性能潤(rùn)滑劑有助于減少在制造電子及半導(dǎo)體的空間內(nèi)產(chǎn)生的污染物和揮發(fā)性氣體。

　　從而提高產(chǎn)量，同時(shí)延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命。

　　多功能、耐高溫、抗腐蝕潤(rùn)滑劑(潤(rùn)滑脂、潤(rùn)滑油和真空泵油)還可以用于各種生產(chǎn)線部件，其中包括：

　　軸承

　　閥門(mén)

　　密封件

　　O 圈

　　鏈條

　　壓縮機(jī)

　　變速箱

　　機(jī)械泵及其他部件

　　我們的高性能潤(rùn)滑劑可以為電子和半導(dǎo)體行業(yè)提供出眾的安全防護(hù)。這種長(zhǎng)效潤(rùn)滑油和潤(rùn)滑脂通常用于油泵、干泵、真空系統(tǒng)、潔凈室、機(jī)器人系統(tǒng)等。在這些應(yīng)用中，

　　我們的高性能潤(rùn)滑劑獲得了各大真空泵制造商和OEM 設(shè)備供應(yīng)商的一致認(rèn)可，滿足或超越了質(zhì)保要求。

　　潔凈室用高穩(wěn)定性安全潤(rùn)滑劑

　　我們的高性能潤(rùn)滑劑可以耐受極端溫度和壓力，其在這一點(diǎn)上超越了碳?xì)漕悵?rùn)滑脂、硅類潤(rùn)滑脂和氯氟碳類潤(rùn)滑脂，可以為敏感的電子元器件提供更為穩(wěn)定的工作環(huán)境。

　　由于活性化學(xué)品和物質(zhì)本身就是半導(dǎo)體和電子元器件的安全隱患，因此，使用不能與這些半導(dǎo)體或電子元器件相容的潤(rùn)滑劑便會(huì)損壞組件。

　　我們的高性能潤(rùn)滑劑具有化學(xué)惰性和生物惰性，因而可以與氧氣相容，并且?guī)缀跖c所有化學(xué)品、塑料、金屬和彈性體均不會(huì)發(fā)生反應(yīng)。

　　我們的潤(rùn)滑劑不僅能在嚴(yán)苛的工況下展現(xiàn)穩(wěn)定和安全的性能，而且使用壽命更長(zhǎng)，因此無(wú)需頻繁地為部件補(bǔ)充潤(rùn)滑油。

　　我們的高性能潤(rùn)滑劑還具有特別適用于電子和半導(dǎo)體行業(yè)的其他性能，其中包括：

　　出色的蒸氣壓，在-15℃ 至 300℃(5℉ 至 572℉)溫度范圍內(nèi)，有著低至 10-13 mmHg 的蒸氣壓

　　不會(huì)與酸性或堿性清潔劑、消毒劑、蒸汽和水分發(fā)生反應(yīng)，因而可以防止損壞組件

　　使用安全，不含揮發(fā)性有機(jī)化合物 (VOC) 或氯

　　環(huán)境足跡較小 — 潤(rùn)滑油可再生

　　與工業(yè)中常用的化學(xué)品相容

　　專門(mén)用我們的潤(rùn)滑劑

　　我們的(真空泵油)

　　我們的可在傳統(tǒng)真空泵油會(huì)導(dǎo)致安全、廢棄物處置和維護(hù)問(wèn)題的領(lǐng)域大顯身手。我們的 的穩(wěn)定性相當(dāng)高，有助于減少與廢棄物和維護(hù)相關(guān)的問(wèn)題。其不燃，可以降低泵內(nèi)起火的風(fēng)險(xiǎn)。

　　此外，我們的不含縮醛基團(tuán)，因此不易被半導(dǎo)體制程中的關(guān)鍵元素 — 路易斯酸影響。憑借這些獨(dú)有的性能，我們的 獲得了主流真空泵制造商的廣認(rèn)可。

　　我們的(低蒸氣壓)潤(rùn)滑脂

　　我們的潤(rùn)滑脂不會(huì)bz、燃燒、分解或反應(yīng)生成膠狀或固體沉積物，也不會(huì)助燃。